該設(shè)備可選擇單設(shè)定點(diǎn)或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長(zhǎng)，操作簡(jiǎn)便，密封可靠，綜合性能指標(biāo)較高，處于國(guó)內(nèi)*水平。爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。

 

　　產(chǎn)品用途：

　　主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，如：薄膜沉積，可在真空、不同氣氛、空氣不同環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。

　　結(jié)構(gòu)與配置：

　　該爐型具由我公司專(zhuān)業(yè)化設(shè)計(jì)制造的保溫層，采用業(yè)內(nèi)高標(biāo)準(zhǔn)的高純陶瓷纖維高壓模塊，組成全纖維保溫爐襯。RTP快速退火爐的發(fā)熱元件從材質(zhì)到設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格質(zhì)量控制，能夠極大提高加熱效率，快速完成退火熱處理工藝。在節(jié)能節(jié)電方面的優(yōu)勢(shì)更加突出，微電腦程序控制整個(gè)退火工藝過(guò)程，實(shí)時(shí)自動(dòng)化計(jì)算退火工藝所需的功率，同比節(jié)能節(jié)電30-50%。

 

　　此爐適用于下列工作條件：

　　1、環(huán)境溫度在-10～75℃之間。

　　2、周?chē)h(huán)境的相對(duì)濕度不超過(guò)85%。

　　3、爐子周?chē)鷽](méi)有導(dǎo)電塵埃，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。

　　4、沒(méi)有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸。

 

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　1、可測(cè)大尺寸樣品：可測(cè)單晶片樣品的Zui大尺寸為4英寸（100mm）。

　　2、快速控溫與高真空：Zui高升溫速率可達(dá)100℃/s，真空度Zui高可達(dá)到10Pa。

　　3、程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展：Zui多可創(chuàng)建和存儲(chǔ)32個(gè)程序、8個(gè)PID設(shè)定，實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確測(cè)試。Zui多可擴(kuò)展至4條工藝氣路（MFC），應(yīng)用不同氣氛環(huán)境（真空、氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等）。

　　4、全自動(dòng)智能控制：采用全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

　　5、超高安全系數(shù)：采用爐門(mén)安全溫度開(kāi)啟保護(hù)、溫控器開(kāi)啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施，全面保障儀器使用安全。